多晶硅生產工藝流程,多晶硅最主要的工藝包括，三氯氫硅合成、四氯化硅的熱氫化（有的采用氯氫化），精餾，還原，尾氣回收，還有一些小的主項，制氫、氯化氫合成、廢氣廢液的處理、硅棒的整理等等。

  主要反應包括：Si+HCl---SiHCl3+H2（三氯氫硅合成）;SiCl4+H2---SiHCl3+HCl（熱氫化）;SiHCl3+H2---SiCl4+HCl+Si（還原）多晶硅是由硅純度較低的冶金級硅提煉而來，由于各多晶硅生產工廠所用主輔原料不盡相同，因此生產工藝技術不同，生產多晶硅工藝，多用到多晶硅專用耐磨硬密封球閥，陶瓷閥等。