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            多晶硅工藝
            來源: | 作者:prof71c1d | 發布時間: 2008-07-10 | 653 次瀏覽 | 分享到:

             

              多晶硅生產工藝流程,多晶硅最主要的工藝包括,三氯氫硅合成、四氯化硅的熱氫化(有的采用氯氫化),精餾,還原,尾氣回收,還有一些小的主項,制氫、氯化氫合成、廢氣廢液的處理、硅棒的整理等等。

              主要反應包括:Si+HCl---SiHCl3+H2(三氯氫硅合成);SiCl4+H2---SiHCl3+HCl(熱氫化);SiHCl3+H2---SiCl4+HCl+Si(還原)多晶硅是由硅純度較低的冶金級硅提煉而來,由于各多晶硅生產工廠所用主輔原料不盡相同,因此生產工藝技術不同,生產多晶硅工藝,多用到多晶硅專用耐磨硬密封球閥,陶瓷閥等。


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